淬火工艺中，冷却是实现热处理目的的重要过程，为保持工件在真空热处理过程中的优良特性，冷却剂和冷却工艺的选择和制定是非常重要的，常州真空热处理厂则普遍采用油冷冷却以及气冷冷却的这两种方法。
油冷是一种性能价格比较高的一种冷却方式。在真空条件下，冷却油的冷却能力比在正常大气压下要低，这主要是因为工件表面蒸汽膜变厚，影响了冷却油的冷却能力，而真空淬火油的不断改进，使得其冷却强度随着油面上气体压强下降而降低的程度比普通淬火油要小的多。并且可以通过冲入气体调整油面上气体压强而调整淬火油的冷却强度，在保证工件淬透的前提下，使用尽可能低的冷却速度，减少工件的应力和变形。
气体冷却则可以更好的保持真空加热的工件良好的表面状态、减小真空热处理设备中液体冷却剂（真空淬火油）所占用的空间，简化真空淬火操作工艺。真空气淬最主要考虑的是其冷速，它与气体的种类、气体压力、气体流速以及加热设备的结构有关。
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